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    美國MOTT低蒸壓過濾器


     

    FLP 515不銹鋼纖維過濾器用于ALD（原子層沉積）和CVD（化學氣相沉積）這兩個半導體器件制造中的關(guān)鍵過程。FLP設計用于過濾由液體化學或固體來源的混合物產(chǎn)生的低蒸氣壓氣體。 這些高溫蒸氣是在直接液體注入系統(tǒng)中產(chǎn)生的，在此過程中，該過程利用汽化室或使用載氣從起泡器系統(tǒng)中產(chǎn)生。

    我們的FLP過濾器具有非常低的壓差，并具有足夠的過濾材料表面積，可捕獲顆粒以防止其向下游遷移。 另外，不銹鋼過濾材料可承受將低壓氣體、前驅(qū)物蒸氣和汽化的有機金屬保持在氣相所需的溫度（最高達450°C）。
     

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